ASML的战略路线显示其计划将在今年年底时出货首批三台NXE:3300B光刻机，其中一台年内即可带来收入，另外两台得明年初。2015年的出货量将达到12-30台。关于新技术极紫外光刻机的首要问题就是光源的功率不足，只有55w，所以每小时智能光产出43块晶圆。想要实现未来两年的预定目标那就得提高功率起码到105w，并且最后需要多少还不确定。
还有就是虽然经济环境一般，但是Intel、台积电、三星、GlobalFoundries等客户都加大了半导体设备采购力度，ASML也会在今年第四季度批量出货20nm、16nm、14nm工艺的相关制造设备。
（第三媒体 2013年11月1日）
